第380章 光刻机调试遇难题,江辰三言两语点破天机!
“但尺寸、材质、工艺参数都没变啊!”
“参数没变,但新旧模具的导热性不一样。”
江辰语气很淡。
像是在说一加一等於二。
“新模具的导热係数比旧模具高了大概百分之几,这导致铸造过程中熔融金属的冷却速度发生了改变。”
“宏观尺寸看不出来,但微观密度分布不均匀。”
“底座的质心和形心不重合,引起微弱的惯性力矩。”
他指了指工件台的运动方向:“每次工件台高速往復运动的时候,这个微弱的惯性力矩就会產生一个极其微小的偏转。”
“雷射干涉仪捕捉到的就是这个偏转,不在机械结构上,不在电磁环境里,也不在温度漂移里,而是在底座本身的材料特性里。”
整个车间鸦雀无声。
曹所长张著嘴,半天没合上。
刘工手里的记录本差点掉地上。
陈工用力拍了一下自己脑门,声音在安静的车间里格外响亮:
“我早该想到的!密度分布不均匀会导致惯性主轴偏移!”
张工在旁边小声嘀咕:“这种级別的分析,咱们整个团队没一个人想到,江院士用手摸了一下就找出来了。”
“服了,真的服了。”
王川福沉默了好半天,然后转头对老陈说:
“江总刚才说的每一句话,都记下来了吗?”
老陈疯狂点头,手里的笔都快戳穿笔记本了:
“记了记了,一个字没落。”
王川福又转头看向江辰,眼神复杂得能开染坊。
里面有敬佩,有感慨,还有一丝说不清的自惭形秽。
他搞了这么多年製造业,自认为在精密机械加工这一块也算顶尖水平。
但江辰刚才那番分析,直接把他几十年的认知按在地上反覆摩擦。
不是他不懂,是他根本想不到……
谁能想到模具换了个新的,会让底座的质量分布出问题,进而影响整台光刻机的定位精度?
“江总,”
王川福开口了,声音有点哑,
“你说实话,你到底是怎么摸出来的?”
“我手下那帮老技工,干了几十年精密装配,能用手摸出几个丝的平面度,已经算是顶尖高手了。”
“但你刚才不是摸平面度,你摸的是密度,是惯性力矩。”
“这玩意儿根本没法用手摸,你一摸就出来了。”
江辰想了想,觉得说实话太嚇人,於是给了个相对委婉的解释:
“物理学的基本原理。不同的密度分布,传递振动的频谱不一样。”
“手搭上去,感觉不一样。”
王川福听完之后脸上的表情变得更加微妙:“所以你是用物理学原理,把触觉放大到了可以感知质量分布的程度?”
“差不多。”
王川福彻底不说话了。
他默默转头对老陈低声交代:“把江总这段话原原本本地记下来,回去让所有技术骨干反覆学习。”
老陈愣了一下:“王总,这怎么学?”
“江总说的那些內容,我们连理解都费劲。”
“理解不了就先背下来,总有一天能理解。”
“我活了这么多年,头一回见到有人把物理学基本原理玩到这个地步。”
问题找到了。
接下来就是解决方案。
江辰说,“这批底座的模具已经换了,短期內再换回去不现实。”
“最快的方式是调整工件台的控制参数,把底座的惯性力矩纳入运动补偿模型。”
“另外,后续批次的底座毛坯,铸造前把新模具的预热温度调整一下,儘量让冷却曲线跟旧模具一致。”
“这些优化方案全部匯总成標准工艺文档,下发各產线。”
说完这些,他看了看时间:
“不早了,我先回去吃饭。”
“具体怎么改,你们按我说的方案弄,有问题再找我。”
曹所长赶紧说:“好的好的!江院士您慢走!”
王川福也说:“江总你放心,这儿交给我们。”
……