第380章 光刻机调试遇难题，江辰三言两语点破天机！

国庆假期的热度还没完全散去，光刻机研发中心那边就传来了消息。

不是好消息。

曹所长在电话里的声音有点低沉，跟之前报喜的时候判若两人：

“江院士，整机调试出了点问题。”

“工件台和物镜系统的联调，定位精度一直达不到预期值。”

“我们反覆校准了好几遍，雷射干涉仪的读数就是稳不住，总是在最后几位小数点上来回跳。”

江辰正在国科院图书馆翻一本关於量子纠缠纯化方案的前沿论文，听到这话放下书：“跳多少？”

“零点几纳米。”

“那確实不正常，我过去看看。”

掛了电话。

江辰收拾东西往外走。

唐若曦刚好抱著一摞书过来，看他表情就知道有事：“光刻机那边？”

“嗯，联调出了点小问题。”

“严重吗？”

“不严重，但挺隱蔽的。”

江辰把背包往肩上一甩，“就像代码里藏了个bug，编译能过，运行也不报错，但结果就是不对。”

“这种问题最烦人，但也最有意思。”

唐若曦笑了：“那你快去吧，中午食堂我给你留饭。”

“行。”

到了研发中心。

超净车间里的气氛跟之前明显不一样了。

曹所长、刘工、陈工、张工，还有比亚帝的老陈，一群人围在工件台旁边，一个个眉头拧成川字。

王川福也在，双手抱胸站在人群外围，脸色不太好看。

看到江辰进来，所有人齐刷刷抬头，那眼神就跟考试没考好的学生等老师来训话似的。

曹所长迎上来，语气里带著几分自责：

“江院士，是我们的问题。”

“您给的方案没问题，是我们执行的时候哪里出了紕漏。”

“先別急著背锅。”

江辰走到工件台旁边，看了看雷射干涉仪上跳动的读数。

確实如曹所长所说，最后三位小数点一直在跳，像一只不安分的小虫子。换

一般设备，这点误差根本不算事。

但对於1nm製程的光刻机来说，这个误差已经大到足以影响晶片良率了。

“排查过哪些可能？”江辰问。

刘工翻开手里的记录本，一条一条念：

“光源稳定性，测了，没问题。”

“物镜系统的装配精度，重新校准过，也没问题。”

“工件台的机械结构，拆开检查了一遍，所有螺栓的预紧力都按您的標准重新拧过，还是不行。”

“环境振动，测了地基，没发现异常。”

“温度漂移，恆温系统正常，波动在零点零一度以內。”

“电磁干扰，屏蔽层检查过，没有问题。”

念完之后，整个车间安静了好几秒。

能查的都查了，找不到毛病。

江辰没说话，走到工件台旁边蹲下身，用手轻轻搭在基座表面。

他的感知力全开。

方圆八百米內的一切都在他的掌控之中。

而此刻，他所有的注意力都集中在这台机器最细微的振动上。

大概十来秒后，他站起来：

“老陈，你们这批工件台的底座，是不是跟第一批用的不是同一批次的铸造件？”

老陈愣了一下，赶紧翻手里的记录：

“对，第二批的底座用的是改良后的铸造工艺。”

“按您上次给的分阶段变温时效方案处理的，理论上残余应力释放应该更均匀才对。”

“问题不在应力，在密度。”

江辰指著底座的一角，“这批铸造件的模具，是不是换过？”

王川福眼睛一瞪，转头看向老陈。

老陈满头大汗地翻记录，翻了半天，忽然脸色一变：

“换过！之前那个模具用了十几年，表面有一些微裂纹，上个月我们换了一套新模具。”