第372章 光刻机原型机组装,一个螺丝钉的精度都要亲自把关!
王川福正蹲在工件台旁边,手里拿著一把扭矩扳手,亲自拧一组螺栓。
他穿著一身防尘服,袖口挽到手肘,额头上全是汗。
完全不像一个千亿市值企业的掌舵人,倒像一个在產线上干了半辈子的老技工。
看到江辰进来。
王川福站起身,用胳膊肘擦了擦额头上的汗,笑著迎上来:
“江总,你来了。”
“工件台底座已经就位了,光源模块正在吊装。”
“这台机器,是我们比亚帝建厂以来做过的精度要求最高的东西。”
“我那老技工来看过一次,回去之后沉默了半天,说他的手艺配不上这台机器。”
“王总谦虚了。”
江辰看著正在进行吊装的光源模块,银灰色的腔体在无尘灯光下泛著幽微的反光。
他低头看了看王川福手里那把扭矩扳手,眉头微微一挑,
“王总,你刚才拧的那组螺栓,预紧力参数是多少?”
王川福回头看了老陈一眼。
老陈赶紧翻开手里的工艺手册,找到那组螺栓对应的编號,念了出来。
江辰听完,走到工件台旁边蹲下身,伸手摸了摸那组螺栓的六角头,又看了看垫片的压缩量,然后拿起旁边的数显扭矩扳手,重新拧了一遍。
扭矩数值在显示屏上跳动了几下,最终稳定下来。
他鬆开手,站起来说:
“刚才那组螺栓里,第三颗的预紧力偏高了零点几牛·米。”
王川福愣住了。
零点几牛·米是什么概念?
就是用手指轻轻一推的力,肉眼根本看不出来。
只有最精密的数显扭矩扳手才能捕捉到这种差异。
“这种精密装配,不是拧紧就行。”
江辰语气平静,“太紧,垫片会產生微小形变,整个基座的平面度就会被破坏。”
“平面度偏几个微米,工件台的定位精度就会差零点几纳米。”
“差零点几纳米,曝光出来的晶片良率可能就会掉好几个百分点。”
整个车间瞬间安静了。
那些正在忙碌的工程师和老技工们,全都停下手里的活,看向那个穿著防尘服、手里拿著扭矩扳手的年轻人。
王川福沉默了片刻,然后转头对老陈说:
“你马上安排人把江总这段拧螺栓的视频传给每一个带班组长,让他们看清楚什么才叫真正的精密製造。”
他顿了顿,又纠正自己:
“不对,我是让他们看清楚什么叫神级精密製造。”
“江总,你这双手真不是手,是精密仪器,是成精的法器。”
江辰把扭矩扳手放回工具箱,擦了擦手上的油污:
“基座平面度的问题,源头不是螺栓,是底座本身在加工过程中產生了残余应力。”
“这批底座毛坯在铸造的时候冷却速度不均匀,导致晶格结构不一致,应力在內部一直在缓慢释放。”
“这种缓释效应会持续很长时间,装配之后再释放就会把基座拉变形。”
他拿起记號笔,在底座侧面画了个圈標记出问题区域:
“这个地方的应力还没完全释放完。”
“下一步做时效处理的时候,时间延长到標准工序的两倍,温度曲线也別用常规的匀速升降温方案。”
“用分阶段变温时效,每个温度平台多保持一阵,让残余应力充分再结晶和弛豫。”
“具体参数我让老赵传一份时效工艺补充方案过来,以后所有底座类大件都按新的曲线走。”
他放下记號笔,抬头看向王川福。
却发现王川福整个人都呆立在原地,眼神直愣愣的,半天没说出话来。
“王总?”
王川福终於回过神来,深吸一口气,转头对身后的老陈说:
“老陈,刚才江总说的那段,你都记下来了吗?”
老陈连连点头,手里的笔在本子上抖个不停:
“记了记了,一个字没落。”
……