第372章 光刻机原型机组装，一个螺丝钉的精度都要亲自把关！

九月中旬。

燕京的银杏叶刚开始泛起一层淡淡的金边。

光刻机三大核心子系统的研发和加工，几乎在同一时间传来了突破性进展。

最先传来好消息的是光电所那边。

曹所长在电话里的声音激动得都劈叉了。

背景音里还能听到刘工和几个年轻工程师的欢呼声。

有人喊“牛逼”，有人喊“稳了稳了”，还有人扯著嗓子喊“快给江院士打电话”。

曹所长嚎得嗓子都哑了：

“江院士！极紫外光源原型机完成了！”

“我们连续跑了七十二小时稳定性测试，锡滴发射频率跟雷射脉衝的同步精度超过了您方案里给的参数，输出功率直接干到了千瓦级！比全世界最先进的asml光源高了好几倍！”

江辰当时正在东科院图书馆翻一本关於量子纠缠纯化方案的前沿论文，听到这个消息也只是微微点头：

“辛苦了，我明天过去看看。”

“不辛苦不辛苦！我们全所上下现在都跟打了鸡血似的！”

曹所长顿了顿，压低声音补了一句，

“江院士，您是没看到，刘工调试完最后一组参数的时候，整个人直接瘫在实验台旁边哭了。”

“他说他搞了二十年雷射，从来没想过有一天能做出这种级別的东西。”

次日一早。

江辰便驱车赶到燕京西北郊的光电所。

曹所长带著刘工、陈工、张工三人，早早就等在门口。

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看到江辰的车子驶来，曹所长三步並作两步迎上去，腰都微微弯了几分。

一行人簇拥著江辰走进超净实验室。

隔著防辐射玻璃。

江辰看到那台被安置在真空腔室正中央的光源原型机。

它比预想的还要紧凑。

银灰色的腔体表面密布著精密的光学窗口和冷却管路。

腔室內部。

极紫外光正以一种近乎神圣的频率稳定输出，將整个腔体映成一片幽蓝色。

刘工站在旁边，指著屏幕上一组实时跳动的参数，声音都在发抖：

“江院士您看，这是输出功率实时监控数据。”

“目前稳定在千瓦级，全世界没有任何一家机构能做到这个水平。”

“asml最先进的极紫外光源，输出功率也就几百瓦，我们直接翻了倍。”

江辰仔细看著屏幕上每一组数据，从雷射脉衝的波形到锡靶的发射频率，从真空腔室的气压波动到冷却系统的热交换效率。

每一项参数都逐行扫过，確认无误后才点了点头：

“很好。物镜系统那边呢？”

陈工早就等在一旁了。

听到这句话赶紧上前一步，把手里的平板电脑递过去，调出几张显微镜下的反射镜截面图：

“江院士您看，这是我们按照您给的工艺参数做出来的多层膜反射镜。”

“薄膜粗糙度只有零点零几纳米，比您要求的指標还高出一截，装配精度也远超预期，ai自动校准模型太强了。”

他说著说著眼眶就红了，“我这辈子，值了。”

“工件台呢？”江辰转向张工。

张工搓了搓手，表情里带著几分骄傲：

“比亚帝那边昨天刚把第一批工件台送过来，超净装配车间已经开始总装了。”

“王总亲自带团队过来的，还带了他最精锐的精密装配团队，说这种活交给別人他不放心。”

江辰点头：“走，去看看。”

燕北新能源研发中心。

二號厂房。

这栋原本用於东芯电池后续技术研发的建筑，其中一整层已被改造为超净装配车间，专门用於光刻机整机的总装。

车间里恆温恆湿，空气经过多层过滤，洁净度达到了最高等级。

所有进入车间的人员都必须穿上全套连体防尘服，戴上口罩和护目镜，从头到脚裹得严严实实，只露出一双眼睛。

江辰走进车间的时候。