第230章180纳米良率大增
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3月15日,新竹科学园,启文半导体晶圆厂。
周国明站在洁净室的观察窗前,手里拿著刚从產线上取下来的第一批量產晶片。
隔著玻璃,第三代四合一套片的生產线正在全速运转。
基带、快闪记忆体、电源管理、射频,四颗裸片在同一个bga封装里堆叠。
贴片机的机械臂,每一次起落都精准到微米级別。
他身后站著整个晶片研发事业部核心工程师团队。
过去三个月,这群人几乎吃住都在厂区里。
从流片到入网测试到量產验证,每一步都踩在时间表的极限上。
现在第一批量產晶片的测试数据,正从检测台传回来。
良率稳定在92%以上,单套成本比第二代mcp下降12%。
周国明拿起內线电话,拨通了陈启文在港城的號码。
电话响了一声就接了。
“陈总,第三代四合一套片正式量產出货。
良率92%,成本降12%,全部达標。”
电话那头没有立刻回应。
周国明能听到听筒里传来轻微的呼吸声,陈启文说了一句:
“辛苦了,我明天到新竹。”
3月16日,新竹启文半导体晶圆厂。
陈启文从车上下来的时候,林本健已经在厂区门口等了。
新竹三月的风还带著凉意,但林本健只穿了一件白衬衫,袖口卷到小臂。
脸上带著一种少见的兴奋。
“陈总,先看180nm產线。”林本健没有寒暄,直接带著陈启文往洁净室的方向走。
两人换上无尘服,穿过两道风淋门,走进洁净室。
眼前的景象和周国明上次带陈启文来看,第三代四合一套片產线时完全不同。
首批五台asml 180nm光刻机全部到位,一字排开,每台机器都在全速运转。
机械臂將一片片八英寸晶圆送入光刻机,曝光、显影、蚀刻……
每一个步骤都在纳米级的精度下完成。
洁净室里的工程师们,在各个检测台之间穿梭,屏幕上滚动著实时的良率和產能数据。
“这条產线的良率目前稳定在85%以上,比原计划高了5个百分点。”
林本健指著其中一台光刻机上的铭牌:asml,pas 5500,2004年1月交付。
“浸润式专利换来的设备优先供货权,让我们比台基电的其他客户,提前了至少半年拿到这批机器。
asml那边的排產优先级,我们和台积电完全持平。”
“台基电知道吗?”
“半导体圈子没什么秘密。
他肯定知道。
张中谋的情报系统不是吃素的。”
林本健笑道:“但他知道也没用。
我们的专利授权协议,是法律层面的保障。
更是asml所渴望,不可能为一个客户的施压,放弃和我们的合作。
更何况,我们现在是asml在亚太地区除了台基电之外最大的客户。”