第366章 四重曝光！这不符合物理

看了一会后，王建平痴迷地站了起来，心情有些激动地问著那位戴著国家基金徽章的工作人员。

“这台设备，多重曝光做了几遍？”

那个人看了他一眼，然后笑了出来:“王总，你一眼就看得出来了。

四重！”

四重曝光，对乾式193nm光刻机来说这是一个非常极限的工艺，已经是量產的极限……

至於实验室的六重曝光没有任何意义，良品率將会低到不具备生產意义的程度。

那纯粹是为了突破而突破！

而王建平则是惊讶地待在了那里，作为一个专业人士，不太清楚答案代表什么。

虽然四重曝光没有六重极限，但同样也是极限生產下的低良品率，哪怕工艺完善，最高也就是70%左右。

“四重？193nm，四重曝光做14nm套壳精度多少，你们太疯狂了。”

“叠加误差程度控制在2nm以內！”

王建平再一次瞪大了双眼，然后便紧紧地皱上了眉头。

“2nm，193的波长，四重曝光能做到2nm，你们把牛顿给挖出来了？”

毕竟以他的专业知识来看，这简直不符合物理规律。

很快他又想到了一个思路，然后他紧紧地抓住了那位工作人员:“你们用的什么对准方案？”

那个人没有回答，而是从旁边的文件夹上抽出了一份技术手册，翻到某一页递给王建平。

王建平接过后，目光扫过那一页的技术参数，然后停住了，他的手微微抖了一下。

“这个……这个是……”

“普通出厂的光刻机不带这个算法，这是传音科技自己研发的定製版本。。

不过您如果想要了解具体的算法细节，需要签署“保密协议”才能看。”

那个人温和地打断了他。

“但我可以告诉你一个公开数据：这台机器在传音的生產线上运转了60多天。

晶圆总產量超过15000片，不过工艺控在了22nm，良品率85%。

验收组的组长是您在京都大学的导师王志华教授。

他签字的报告，你可以隨时查阅。”

王建国的嘴唇动了动，就目前华芯国际和传音科技的关係来说，那个保密协议不用想，就是一份跳槽协议……

最终他转过身又看了一眼光刻机。

机器的外身是白色的，上面印著“华国半导体国家基金”，还有一个醒目的编號nse-cx14c【国家半导体装备系列，晨星14c】

他伸出手轻轻摸了摸那个编號，像是在摸一个新生儿的额头。

对华国来说，这台光刻机又何尝不是一个新生儿呢，只不过华星的这个新生儿长得有点快。

“我们等这台机器等了20年。”

他的声音很低，像是在自言自语，但他的心情……可是无比激动。

他缓缓地收回放在机身上的手，眼底的激动还没有完全平復，可谓是一步三回头……

突然间他晃了一下，呼吸却先一步稳了下来。