第312章 不错

这个成果拿到任何一个专项评审会上去匯报，都是能拍胸脯的成绩。

“不错。”

肖宿终於开口了，评价很直接：

“调度策略和匀速段精度都做到了接近理论极限，再往上优化的空间已经不大了。”

邓威听到这句话，眼睛一亮，下意识的挺了挺腰板。

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能被肖宿评价不错，他在今天看到的几拨人里算是头一份了。

但肖宿的目光很快就掠过了那两条平滑的匀速段位移曲线，视线移到了测试屏幕右下角一个被他刚才忽略的小窗口上。

那是一组换向过程的实时测试曲线，不过，振幅坐標被放大了十倍，匀速段平滑如镜的定位误差在换向节点上突然鼓起了一个小尖峰，峰值大概有十几纳米，持续的时间极短，但是每一段换向周期里都精准地出现了一次。

“换向过程中的瞬態呢？”肖宿问。

邓威脸上的笑意微微滯了一下。

他本来还打算再给肖宿看看他们刚优化完的曝光剂量均匀度数据，但肖宿却直接跳到了他最不想谈的那块。

他顿了顿，倒也没有迴避，把那个小窗口拖到主屏上放大了。

换向段的位移曲线在拐点处猛地往上一跳，然后迅速回落，尖峰两侧的衰减曲线一左一右，形成一个几乎完美对称的窄峰。

“这个就是我们目前最大的拦路虎了。”

邓威指著那个尖峰，声音里的骄傲褪去了大半。

“换向瞬態振动的振幅虽然只有十几纳米，但是在高速扫描状態下每次换向都会来一次，平均每片晶圆要经歷上千次换向，累积下来曝光线条的边缘粗糙度就超標了。

我们试过的控制算法不在少数，可是，pid的增益调大了就会引入高频噪声，调小了压不住尖峰，而滑模控制在切换面上抖振太大，自抗扰的扩张状態观测器又对这类脉衝型扰动的跟踪有延迟，等观测器跟上的时候尖峰早就已经过去了。

能用的方法都试过了，可全都没效果。

我们另外还试过叠代学习控制，但是工况变化之后学习率收敛实在太慢了，换一批次就重新来一遍，根本跟不上量產的节奏。”

他说完这段，自己都觉得自己像是在倒苦水，但肖宿的表情没什么变化，只是盯著那个尖峰看了好几秒。

他脑子里已经把邓威说的那些控制算法的特点挨个过了一遍。

他们试过的那些方法局限性確实挺大的，pid是线性控制器，对付脉衝型扰动本来就不是长项，滑模的抖振在纳米级定位精度下也是致命缺陷，而自抗扰的观测器带宽有限，跟踪延迟是结构性的。

此外，叠代学习在变工况场景里收敛太慢，量產確实不適用。