第287章 因为她看见了

“三號镜，抬高。”

“五號镜，锁死。”

“看掩膜版。”

她声音不大。

却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。

操作员猛地回神，扑向副屏。

画面切换。

那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。

嗤！

一声极轻的灼响。

光，咬住了。

“聚焦成功！”

“主焦点锁定成功！”

会场里先是一静。

紧接著。

轰！

整个主控区像炸了一样。

“成了！”

“真的聚住了！”

“曝光！快上曝光程序！”

程美丽一掌拍下执行键。

啪！

晶圆工件台开始高速平移。

涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。

那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。

全场没人再说话。

只剩设备运转的低沉轰鸣。

还有眾人压得发疼的呼吸。

三分钟后。

滴！

曝光结束。

晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。

化学显影液如细雨般淋下。

冲洗。

定型。

白色水雾弥散在玻璃罩內，遮得人眼前发白。

“出来了。”

程美丽开口。

机械抓手应声探出，將首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。

李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。

一名院士死死抓著自己的老花镜，指节泛白。

程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。

咔。

目镜锁定。

她低头看了一眼。

没说话。

直接抬手把显微镜画面投上了主屏。

嗡！

巨幕亮起。

一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。

晶格。

线路。

一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。

每一条边缘都锋利。

每一个拐角都乾净。

没有塌陷。

没有毛刺。

没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。

主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。

0.5微米。

李副部长盯著那串数字，整个人像是被雷劈中了。

“零点……五……”

他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。

下一秒。

他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。

肩膀剧烈发抖。

“成了……”

“成了啊！”

这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。

欢呼声。

拍桌声。

金属栏杆被砸得咣咣作响。

两名头髮花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。

其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。

但这些声音，都被程美丽扔在了身后。

她站在大屏前，盯著那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。

因为她看见了。

在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。

某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。

不大。

只有针尖那么一点。

却像一根细针，刺进了她的眼底。

她没有出声。

只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。

篤。

篤。

主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。

距离晶片蚀刻工序开始。

还剩2小时。