第890章 不在西方的收费站排队!烛龙亮剑,整条工业链换骨!
当晚九点。
上沪晶圆基地,地下应急会议室。
所有手机、手錶、无线设备全部封存。
门外三道岗。
门內坐满了人。
半导体院士。
光学专家。
材料厂负责人。
晶圆厂厂长。
军工代表。
中枢特派人员。
还有从京城紧急接入的李援朝、王卫国、吴建邦、石磊。
会议室中央,a-17样片的扫描图掛在主屏上。
那条从废品里抽出来的势能谷线,扎进每个人心里。
秦立成坐在靠边位置,眼眶还有点红。
他已经让人查顾景山。
可这个名字离开体系太久,能查到的东西不多。
许燃站在白板前,没有开场白。
“烛龙升级方案。”
第一行字落下。
会议室瞬间安静。
许燃写下四个词。
【负折射边缘態物镜】
【多极势阱】
【表面势能模板】
【受控原子自组装】
张怀民盯著白板。
“你要正式放弃缩小投影?”
“对。”
许燃转身。
“传统euv的核心逻辑,是把图案缩小后投到晶圆上。”
“光源越短,物镜越强,掩膜越精,图案越细。”
“这条路能走。”
“西方走了几十年。”
“问题是,他们把每个路口都修成收费站。”
“我们不在收费站排队。”
他点开下一页。
屏幕上,烛龙底座的局部结构出现。
这一次,比大会上多开放了几层参数。
不少专家一眼看过去,后背发紧。
环形量子光场阵列。
负折射物镜组。
原子源控制腔。
多极电磁约束层。
晶圆表面势能模板接口。
许燃指著结构图。
“烛龙不做缩小投影。”
“烛龙做晶体级製造。”
“用负折射边缘態物镜生成超分辨光场。”
“用多极势阱锁定原子沉积位置。”
“用电磁场修正原子迁移路径。”
“用表面化学模板给晶圆写入势能差。”
“最后,让材料从下往上长成逻辑结构。”
会议室静了两秒。
隨后,质疑炸开。
一名材料院士直接站了起来。
“许燃,原子不是棋子。”
“热噪声、表面扩散、吸附能差,一堆变量。”
“你让它站哪儿就站哪儿?”
另一个晶圆厂负责人接话:
“就算能站住,產能呢?”
“我们不是实验室做纪念章。”
“一条线一天要跑多少片?”
“客户不会等你慢慢摆原子。”
设备企业总师也皱眉。
“晶圆表面缺陷怎么办?”
“颗粒、台阶、应力、杂质。”
“传统光刻已经被缺陷折磨得要命。”
“你原子级製造,缺陷放大后只会更要命。”
军工代表敲了敲桌子。
“还有可靠性。”
“逻辑单元能算一千组隨机布尔运算,不代表能过高低温、衝击、辐照和长寿命。”
“军用晶片,不能只看开机亮不亮。”
石磊在视频里也挠头。
“我听著都觉得细。”
“像拿筷子夹沙子。”
吴建邦瞪他。
“你不会说话就少说。”
石磊理直气壮。
“我这叫比喻。”
会议室里有人低笑。
紧张气氛被他搅开半寸。
许燃没有急著反驳。
他看向周群。
“接盘古平台。”