当晚九点。

上沪晶圆基地,地下应急会议室。

所有手机、手錶、无线设备全部封存。

门外三道岗。

门內坐满了人。

半导体院士。

光学专家。

材料厂负责人。

晶圆厂厂长。

军工代表。

中枢特派人员。

还有从京城紧急接入的李援朝、王卫国、吴建邦、石磊。

会议室中央,a-17样片的扫描图掛在主屏上。

那条从废品里抽出来的势能谷线,扎进每个人心里。

秦立成坐在靠边位置,眼眶还有点红。

他已经让人查顾景山。

可这个名字离开体系太久,能查到的东西不多。

许燃站在白板前,没有开场白。

“烛龙升级方案。”

第一行字落下。

会议室瞬间安静。

许燃写下四个词。

【负折射边缘態物镜】

【多极势阱】

【表面势能模板】

【受控原子自组装】

张怀民盯著白板。

“你要正式放弃缩小投影?”

“对。”

许燃转身。

“传统euv的核心逻辑,是把图案缩小后投到晶圆上。”

“光源越短,物镜越强,掩膜越精,图案越细。”

“这条路能走。”

“西方走了几十年。”

“问题是,他们把每个路口都修成收费站。”

“我们不在收费站排队。”

他点开下一页。

屏幕上,烛龙底座的局部结构出现。

这一次,比大会上多开放了几层参数。

不少专家一眼看过去,后背发紧。

环形量子光场阵列。

负折射物镜组。

原子源控制腔。

多极电磁约束层。

晶圆表面势能模板接口。

许燃指著结构图。

“烛龙不做缩小投影。”

“烛龙做晶体级製造。”

“用负折射边缘態物镜生成超分辨光场。”

“用多极势阱锁定原子沉积位置。”

“用电磁场修正原子迁移路径。”

“用表面化学模板给晶圆写入势能差。”

“最后,让材料从下往上长成逻辑结构。”

会议室静了两秒。

隨后,质疑炸开。

一名材料院士直接站了起来。

“许燃,原子不是棋子。”

“热噪声、表面扩散、吸附能差,一堆变量。”

“你让它站哪儿就站哪儿?”

另一个晶圆厂负责人接话:

“就算能站住,產能呢?”

“我们不是实验室做纪念章。”

“一条线一天要跑多少片?”

“客户不会等你慢慢摆原子。”

设备企业总师也皱眉。

“晶圆表面缺陷怎么办?”

“颗粒、台阶、应力、杂质。”

“传统光刻已经被缺陷折磨得要命。”

“你原子级製造,缺陷放大后只会更要命。”

军工代表敲了敲桌子。

“还有可靠性。”

“逻辑单元能算一千组隨机布尔运算,不代表能过高低温、衝击、辐照和长寿命。”

“军用晶片,不能只看开机亮不亮。”

石磊在视频里也挠头。

“我听著都觉得细。”

“像拿筷子夹沙子。”

吴建邦瞪他。

“你不会说话就少说。”

石磊理直气壮。

“我这叫比喻。”

会议室里有人低笑。

紧张气氛被他搅开半寸。

许燃没有急著反驳。

他看向周群。

“接盘古平台。”

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